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maschine+werkzeug 08/2011

Schichtmeister

Technik

Beschichten - Sulzer Metaplas bietet seit Jahren innovative Technologien in der Beschichtungstechnik. Seine Innovationskraft schöpft das Unternehmen aus dem eigenen Anlagenbau.

Das modulare Metaplas-Domino-Anlagenkonzept kann individuelle Bedürfnisse befriedigen.

Das modulare Anlagenkonzept der Metaplas-Domino-Serie kann speziell auf individuelle Bedürfnisse und Ansprüche zugeschnitten werden. Das gesamte Spektrum der Dünnfilm-Beschichtungstechnologien steht zur Verfügung.

Neben ARC- und Sputter-Modulen, DLC-Modulen und der Realisierung von Kombibehandlungen – der Kombination von PVD-Beschichtung und Plasmanitrieren – bietet das Anlagenkonzept mit seiner Hipac(High Ionisation Plasma Assisted Coating)-Technologie einen der innovativsten Ansätze in der Oberflächenbeschichtung an. Die Verfügbarkeit zweier Hochionisationsprozesse, wie ›Hipac‹ und ›APA-ARC‹, ermöglicht es des Weiteren, diese zu einem Hybridverfahren zu verbinden.

Power-Weiterentwicklung

Die Hipac-Technologie stellt eine Weiterentwicklung des hochionisierten Prozesses ›Hipims‹ (High-Power Impulse Magnetron Sputtering) dar und wurde speziell auf industrielle Bedürfnisse ausgelegt. Sie verbindet die Vorteile der Hipims und der patentierten hoch effizienten Ätztechnololgie ›AEGD‹ (ARC-Enhanced Glow Discharge). Diese Technik ermöglicht einen hohen Ionisationsgrad ähnlich dem ARC-Prozess. Durch die hohe Plasmadichte können besonders fehlerfreie Schichten mit hoher Dichte erzeugt werden. Die Schichten sind dabei sehr glatt und bereits ab einer Temperatur von 60 Grad Celsius haftfest applizierbar.

Das Zerstäuben von Metallen und anderen Beschichtungsmaterialien durch das Hipac-Verfahren beruht auf dem Pulsen bei kleinen Frequenzen der Sollspannung (kleiner als 2 kHz) und Tastverhältnissen von weniger als zehn Prozent. Durch die durchschnittlich klein gehaltene Leistung kann eine hohe Ladungsdichte im Plasma realisiert werden. Diese Verbesserung unterstützt die Kontrolle des Abscheidungsprozesses und ermöglicht auch die Abscheidung von Hybridschichten (zum Beispiel ARC und Hipac). So können Schichtzusammensetzungen und Mikrostrukturen optimal zugeschnitten und signifikant verbessert werden.


Inhaltsverzeichnis
Unternehmensinformation

Sulzer Metaplas GmbH

Am Boettcherberg 30-38
DE 51427 Bergisch Gladbach
Tel.: 02204-299-0
Fax: -266

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